R&D 전문 팀

차세대 반도체 및 디스플레이 검사 기술을 선도하는 전문가들

Optics R&D

Optics R&D

광학 설계 및 응용

  • 물리학 전공
  • 광기구 설계 및 해석
  • Application 개발
  • 계측 알고리즘 개발
SW R&D

SW R&D

알고리즘 및 O/S 응용

  • 메카트로닉스, 전자공학 전공
  • IoT device 개발
  • 딥러닝 알고리즘
  • 3D 검사 알고리즘 개발
System R&D

System R&D

시스템 설계 및 제어 HW

  • 기계공학 전공
  • 시스템 설계 및 해석
  • Precision motion 해석
  • 개발 알고리즘 구상/Coding

핵심 기술 역량

삼성전자 설비 개발 경험을 바탕으로 한 세계 수준의 기술

01

Wafer 검사 기술

Wafer defect 검사기, wafer & photomask defect review SEM, dry etch 등 반도체 핵심 공정 검사 설비 및 공정 설비 기술 개발 경험 축적 (삼성 제조라인 적용, 양산 중)

02

Precision metrology 기술

8G Maskless lithography, UHV nm SEM 설비 개발을 통한 고정밀, 고강성 광학 측정 시스템 기반 기술 보유

03

In-situ measuring 기술

HBM Wafer Bonding in-situ measuring unit 개발 양산, OLED IGZO in-situ measuring unit 기술